标准号:GB/T 34971-2017
中文标准名称:半导体制造用气体处理指南
英文标准名称:Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2017/11/1 12:00:00
实施日期:2018/2/1 12:00:00
中国标准分类号:西南化工研究设计院有限公司
国际标准分类号:71.040.40
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:中昊光明化工研究设计院有限公司
起草人:牛艳东
相近标准:20132255-T-469 半导体制造用气体处理指南;SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范;QB/T