DIN EN 62047-4-2011 DIN EN 62047-4-2011 半导体器件.微电机器件.第4部分:MEMS一般要求(IEC 62047-4-2008);德文版本EN 62047-4-

百检网 2021-08-19

标准号：DIN EN 62047-4-2011
中文标准名称：DIN EN 62047-4-2011 半导体器件.微电机器件.第4部分:MEMS一般要求(IEC 62047-4-2008);德文版本EN 62047-4-2010
英文标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010
发布日期：2011-03
实施日期：2011-03-01
中国标准分类号：L40
国际标准分类号：31.080.01;31.220.01

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