ASTM F374-2000a ASTM F374-2000a 用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层的薄膜电阻的测试方法

百检网 2021-08-19

标准号：ASTM F374-2000a
中文标准名称：ASTM F374-2000a 用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层的薄膜电阻的测试方法
英文标准名称：Standard Test Method for Sheet Resistance of Silicon Epitaxial, Diffused, Polysilicon, and Ion-implanted Layers Using an In-Line Four-Point Probe with the Single-Configuration Procedure
发布日期：2000
中国标准分类号：H81
国际标准分类号：29.045 (Semiconducting materials)

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