使用一次脉冲离子轰击固体材料表面，通过表面激发出的二次离子的飞行时间测量其质量，以表征材料表面的元素成分、分子结构、分子键接等信息。
检测范围
分析所有的导体、半导体、绝缘材料;对于材料/产品表面成分及分布，表面添加组分、杂质组分、表面多层结构/镀膜成分、表面异物残留(污染物、颗粒物、腐蚀物等)、表面痕量掺杂、表面改性、表面缺陷(划痕、凸起)等有很好的表征能力。
检测标准
1ASTM E2695-2009用飞行时间二次离子质谱仪得到的质谱数据的阐述指南
2ISO 13084-2011表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱用质量标度的校准
3ISO DIS 13084-2010表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱用质量标度的校准
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