有机异物分析是指针对产品表面的有机异物,根据异物的形态、检测深度及检测面积等差异而选用特定的仪器,对其有机成分进行分析,判定其主成分,从而获取异物信息的一种分析方法。有机异物在放大观察下常常表现出较为透明且性软等特点。目前有机异物的分析手段主要有以下几种:
红外光谱FTIR 有机物定性;有机污染物分析 能进行微区分析,其显微镜测量孔径可到8μm或更小,可方便地根据需要选择样品不同部分进行分析 GB/T 6040-2002
飞行时间二次离子质谱TOF-SIMS 有机材料和无机材料的表面微量分析;表面离子成像;深度剖面分析 优异的掺杂剂和杂质检测灵敏度,可以检测到ppm或更低的浓度;深度剖析具有良好的检测限制和深度辨析率;小面积分析 ASTM E1078-2009 ASTM E1504-2011 ASTM E1829-2009
动态二次离子质谱D-SIMS 产品表面微小的异物分析;氧化膜厚度分析;掺杂元素的含量测定 分析区域小,能分析≥10μm直径的异物成分;分析深度浅,可测量≥1nm样品;检出限高,一般是ppm——ppb级别 ASTM E1078-2009 ASTM E1504-2011 ASTM E1829-2009。