素分析是能量散射 X 射线光谱(EDS，也称为 EDX 或 XEDS)的基本应用。通过
EDS，将重要成分信息添加到电子显微镜图像中，为您提供样品的形态和化学综合概览。随着
EDS分析日益与常规电子显微镜技术交织，提高技术的速度和灵敏度至关重要。赛默飞世尔科技提供了独特的 Thermo Scientific ChemiSTEM
技术，专为 S/TEM 仪器设计，可优化样品产生的 X 射线数量和检测器捕获的数量。ChemiSTEM 技术可执行快速 EDS 映射和痕量元素检测，拓宽了使用
S/TEM 工具进行 EDS 分析的实用性和性能。此外，Thermo Scientific ColorSEM 技术是一项可在 SEM
仪器上始终开启的技术，使任何用户都能够采集元素数据，从而获得比以往任何时候更多的完整信息。
EDS元素分析可实现快速成分映射
较高效率的 EDS 检测系统可实现纳米以下分辨率的快速成分分析。与传统的单硅漂移检测器 (SDD) 系统相比，ChemiSTEM 技术可使 X-FEG 产生多达 5 倍的 X 射线，使 Super-X 检测系统采集多达 10 倍的 X 射线。
左 - 晶体管的化学成分图，总图采集时间为 1 小时 54 分钟。在硅(锂)检测器系统上采集了 100 x 100 像素 EDS 图谱，像素驻留时间为 500 毫秒，光斑尺寸约为 0.7 nm，射束电流为 0.4 nA。右 - 采用 ChemiSTEM 技术在仅 115 秒内采集的等效设备的 100 x 100 像素 EDS 图谱，像素驻留时间为 5 毫秒，光斑尺寸约为 0.3 nm，射束电流为 1.0 nA。样品由 NXP 研究提供。
