场发射扫描电镜,场发射检测标准具体有哪些?做场发射扫描电镜,场发射检测就上百检网。
场发射扫描电镜原理
利用细聚焦高能量电子束,在扫描线圈磁场的控制下,电子束在样品表面逐点扫描,激发出二次电子、背散射电子等物理信号,经探测器收集、放大器放大后,将信号一一对应地在显示屏上的相应各点调制成像,从而获得样品表面的放大图像。采用场发射电子光源可获得更高的分辨率和更优秀的成像质量。
分辨率:0.8nm@15kV,1.4nm@1kV
加速电压:0.02~30kV
束流:10pA~300nA
放大倍率:12~2000000
探测器:镜筒内二次电子探测器in-lens,二次电子探测器SE2,能量选择背散射探测器EsB,角度选择背散射探测器AsB,透射探测器STEM
样品台:5轴电动优选中心样品台,X=130mm,Y=130mm,Z=50mm,T=-3~70度,R=360度
附件:能谱仪,镀膜仪
应用:扫描电子显微镜具有辩率高、景深大、成像立体感强的特点,能同时分析形貌和成分,可用于形貌观察、显微结构分析、微区成分分析、断口形貌和成分分布分析等,还可进行样品的原位动态观察和特定环境实验,在材料、纳米科学、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。