GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语 现行

标准号：GB/T 38616-2020
中文标准名称：纳米定位与扫描平台术语
英文标准名称：Terminology for nano positioning and scaning stage
标准状态：现行,发布于2020-04-28; 实施于2020-11-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2020-04-28
实施日期：2020-11-01
中国标准分类号：01.040.39
国际标准分类号：01.040.39
归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
执行单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草单位：沈阳建筑大学;广东工业大学;苏州昊通仪器科技有限公司;三英精控（天津）仪器设备有限公司;中国计量科学研究院;沈阳理工大学
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