GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 现行

标准号：GB/T 37049-2018
中文标准名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
标准状态：现行,发布于2018-12-28; 实施于2019-04-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-04-01
中国标准分类号：77.040.30
国际标准分类号：77.040.30
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司;有研半导体材料有限公司;新特能源股份有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司;宜昌南玻硅材料有限公司;洛阳中硅高科技有限公司
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