GB/T 14600-2009 电子工业用气体 氧化亚氮 现行

标准号：GB/T 14600-2009
中文标准名称：电子工业用气体 氧化亚氮
英文标准名称：Gas for electronic industry - Nitrous oxide
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-05-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国计量科学研究院;大连光明化工研究院;西南化工研究设计院
全部替代标准：GB/T 14600-1993
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