GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法 现行

标准号：GB/T 24574-2009
中文标准名称：硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
英文标准名称：Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心;中国电子科技集团公司第四十六研究所
采标情况：本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF1389-0704。
采标中文名称:Ⅲ－Ⅴ号混杂物中对单晶体硅的光致发光分析的测试方法。
相近标准：20070858-T-469 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法; SJ/T 11494-2015 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法; GA/T 593-2006 光致发光照相、录像方法规则; QB/T 4004-2010 计时仪器 光致发光涂层 试验方法和要求; 20191279-T-607 计时仪器 光致发光涂层 试验方法和要求; 计时仪器 光致发光涂层 试验方法和要求; 碳化硅外延片基面位错的测试 光致发光法; 20068100-T-469 光致发光（磷光）安全标记光学性能要求; GB/T 21382-2008 光致发光（磷光）安全标记光学性能要求; SJ/T 11492-2015 光致发光法测定磷镓砷晶片的组分