GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫 被代替

标准号：GB/T 18867-2002
中文标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
英文标准名称：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
标准状态：被代替,发布于2002-10-15; 实施于2003-04-01; 被代替于2015-07-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2002-10-15
实施日期：2003-04-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中核红华特种气体股份有限公司
被以下标准代替：被GB/T18867-2014GB/T18867-2014全部代替
采标情况：本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3.24:1995。
采标中文名称:。
相近标准：GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫; 20101283-T-469 电子工业用气体 六氟化硫; GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨; GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮; 电子工业用气体 三氟化氮; 20051092-T-469 电子工业用气体 三氟化氮; 20110735-T-469 电子工业用气体 六氟化钨; GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼; 20062751-T-469 电子工业用气体 三氟化硼; 20091224-T-469 电子工业用气体 四氟化碳