GB/T 18032-2000 砷化镓单晶AB微缺陷检验方法 现行

标准号：GB/T 18032-2000
中文标准名称：砷化镓单晶AB微缺陷检验方法
英文标准名称：The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
标准状态：现行,发布于2000-04-03; 实施于2000-09-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2000-04-03
实施日期：2000-09-01
中国标准分类号：77.040.01
国际标准分类号：77.040.01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：北京有色金属研究总院
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