GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法 被代替

标准号：GB/T 14140.1-1993
中文标准名称：硅片直径测量方法 光学投影法
英文标准名称：Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
标准状态：被代替,发布于1993-02-06; 实施于1993-10-01; 被代替于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
中国标准分类号：77.040.01
国际标准分类号：77.040.01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：洛阳单晶硅厂
被以下标准代替：被GB/T14140-2009GB/T14140-2009全部代替
采标情况：本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F613:1987。
采标中文名称:。
相近标准：GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法; 20060417-T-469 硅片直径测量方法; GB/T 14140.2-1993 硅片直径测量方法 千分尺法; SJ/T 11543-2015 前投影机光学引擎技术要求及测量方法; JB/T 5577.2-1991 透射式投影器投影仰角测量方法; DB44/T 2088-2018 眼镜式立体投影机光学性能测量方法; SJ/T 11346-2015 电子投影机测量方法; SJ/T 11346-2006 电子投影机测量方法; JB/T 5577.1-1991 透射式投影器画面变测量方法; JB/T 9495.7-1999 光学晶体光学均匀性测量方法