GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

标准号：GB/T 24577-2009
中文标准名称：热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
英文标准名称：Test methods for analyzing organic contaminants on silicon water surfaces by thermal desorption gas chromatography
标准类型：H80
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
引用标准：ASTM D6196
适用范围：1.1本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法，采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。1.2本标准描述了热解吸气相色谱仪(TD-GC)以及有关样品制备和分析的相关程序。1.3本标准的检测限范围取决于被检测的有机化合物，比如碳氢化合物(C