GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

百检网 2021-07-13
标准号:GB/T 20307-2006
中文标准名称:纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
英文标准名称:General rules for nanometer-scale length measurement by SEM
标准类型:N33
发布日期:2006/7/19 12:00:00
实施日期:2007/2/1 12:00:00
中国标准分类号:N33
国际标准分类号:37.020.17.040
引用标准:JJF 1059-1999
适用范围: 本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm~500nm的点或线的间距。

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