标准号：KS D 0262-2002
中文标准名称：硅切割片和研磨片的外观检验
英文标准名称：Visual inspection for sliced and lapped silicon wafers
标准类型：H81
发布日期：2002/5/29 12:00:00
实施日期：2002/5/29 12:00:00
中国标准分类号：H81
国际标准分类号：29.045
适用范围：이 규격은 실리콘 웨이퍼에서 보이는 다양한 특징과 오염 물질의 겉모양 검사 및 한쪽면으로
KS D 0262-2002 硅切割片和研磨片的外观检验
百检网 2021-07-14
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