NF X44-102-2000 超净间和有关受控环境.第2部分:验证持续符合ISO 14644-1要求的测试和监测规范

百检网 2021-07-16

标准号：NF X44-102-2000
中文标准名称：超净间和有关受控环境.第2部分:验证持续符合ISO 14644-1要求的测试和监测规范
英文标准名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2 : specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1.
标准类型：Z15
发布日期：2000/11/1 12:00:00
实施日期：2000/11/20 12:00:00
中国标准分类号：Z15
国际标准分类号：13.040.35

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