GB/T 40110-2021 表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染

百检网 2021-07-16

标准号：GB/T 40110-2021
中文标准名称：表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
英文标准名称：Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准类型：国家标准
发布日期：2021/5/21 12:00:00
实施日期：2021/12/1 12:00:00
中国标准分类号：华南理工大学
国际标准分类号：71.040.40
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国计量科学研究院
起草人：张艾蕊
相近标准：表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染;20192091-T-469 表面化学分析全反

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