标准号：GB/T 39163-2020
中文标准名称：靶材与背板结合强度测试方法
英文标准名称：Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
标准类型：国家标准
发布日期：2020/11/19 12:00:00
实施日期：2021/10/1 12:00:00
中国标准分类号：有色金属技术经济研究院
国际标准分类号：19.060
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
主管部门：中国有色金属工业协会
起草单位：有研亿金新材料有限公司
起草人：丁照崇
相近标准： 靶材与背板结合强度测试方法;20184703-T-610 靶材与背板结合强度测试方法;YS/T 837-2012 溅射靶
GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法
百检网 2021-07-16
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