GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法

标准号：GB/T 20726-2015
中文标准名称：微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
英文标准名称：Microbeam analysis.Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
标准类型：G04
发布日期：2015/10/9 12:00:00
实施日期：2016/9/1 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.99
引用标准：GB/T 21636-2008
适用范围：本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪(EDS)特性*重要的性能参数。本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)联用的EDS性能参数的*低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309和ASTM E1508中已有规范，不在本标准范围之内。