标准号：DIN50451-1-2003
中文标准名称：半导体工艺的材料检验液体中痕量元素的测定第1部分：用AAS法测定硝酸中的银、金、钙、铜、铁、钾和钠
英文标准名称：Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationoftracesofelementsinliquids;Part1:Silver(Ag),gold(Au),calcium(Ca),copper(Cu),iron(Fe),potassium(K)andsoldium(Na)innitricacidbyAAS
中国标准分类号：L56
国际标准分类号：29.045
部分代替标准：DIN50451-1-1987
DIN50451-1-2003 半导体工艺的材料检验液体中痕量元素的测定第1部分：用AAS法测定硝酸中的银、金、钙、铜、铁、钾和钠
百检网 2021-07-21
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