GB/T 24576-2009 高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法

百检网 2021-07-31

标准号：GB/T 24576-2009
中文标准名称：高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
英文标准名称：Test method for measuring the Al fraction in on AlGaAs substrates by high resolution X-ray diffraction
标准类型：H80
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
适用范围：本标准规定了用高分辨X射线衍射测量GaAs衬底上AlGaAs外延层中Al含量的试验方法。本方法适用于在未掺杂GaAs衬底<001>方向上生长的AlGaAs外延层中Al含量的测定，使用本方法测量Al元素含量时， AlGaAs外延层厚度应大于300 nm。

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