20202591-T-469 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微术）式仪器的标称特性 正在征求意见

标准号：20202591-T-469
中文标准名称：产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微术）式仪器的标称特性
英文标准名称：Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
标准状态：正在征求意见
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：17.040.20
归口单位：全国产品几何技术规范标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：清华大学
相近标准：  产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微术）式仪器的标称特性;  产品几何技术规范（
标准制修订：制订