ISO 10692-1-2001 气瓶微电子工业用气瓶阀的连接第1部分：出口连接

百检网 2021-08-05

标准号：ISO 10692-1-2001
中文标准名称：气瓶微电子工业用气瓶阀的连接第1部分：出口连接
英文标准名称：Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the micro-electronics industry - Part 1: Outlet connections
标准类型：J74
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：J74
国际标准分类号：23.060.40
适用范围：This part of ISO 10692 applies to the outlet connections of gas cylinder valves for gases and gas mixtures and concerns special requirements where the highest levels of cleanliness and freedom from particles are demanded for the manufacture of microelectronic components or similar applications.

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