标准号：HG/T 5502-2018
中文标准名称：基片上抗蚀剂膜厚度测量参数规范
英文标准名称：Specification for Parameters for resist thickness measurement on a substrate
标准状态：现行
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：31.030
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院微电子研究所
相近标准： 基片上抗蚀剂膜厚度测量参数规范;SJ/Z 11356-2006 片上总线属性规范;JB/T 13266-2017 猪胴体
标准制修订：制订
HG/T 5502-2018 基片上抗蚀剂膜厚度测量参数规范 现行
百检网 2021-08-06
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