GB/T 26251-2010 氟及氟氮混合气现行

百检网 2021-08-06

标准号：GB/T 26251-2010
中文标准名称：氟及氟氮混合气
英文标准名称：Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2011/1/14 12:00:00
实施日期：2011/5/1 12:00:00
中国标准分类号：上海华爱色谱分析技术有限公司
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中核红华特种气体股份有限公司
起草人：杜伟华
相近标准：GB/T 38527-2020 校准混合气体技术通则;GB/T 34526-2017 混合气体气瓶充装规定;GB 28396

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