20065633-T-469 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 已发布

百检网 2021-08-06
标准号:20065633-T-469
中文标准名称:硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
英文标准名称:Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method
标准状态:已发布
标准类型:国标计划
发布日期:1999/12/31 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:宁波立立电子股份有限公司
国际标准分类号:29.045
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:南京国盛电子有限公司
起草人:唐有青
相近标准:GB/T 14146-1993  硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法;GB/T 14146-2009  硅外延层载流子
标准制修订:修订

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