标准《硅外延片》由TC203(半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报，TC203SC2(半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行，主管部门为标准化管理委员会。
GB/T 14139-2019主要起草单位
浙江金瑞泓科技股份有限公司 、南京国盛电子有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 、有色金属技术经济研究院 、有研半导体材料有限公司 。
GB/T 14139-2019主要起草人
张海英 、李慎重 、蒋玉龙 、骆红 、胡金枝 、卢立延 、李素青 。
GB/T 14139-2019相近标准(计划)
GB/T 14139-2009 硅外延片
20062372-T-469 硅外延片2
0162492-T-469 硅外延片
GB/T 35310-2017 200mm硅外延片
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
20080030-T-469 硅外延用三氯氢
20141871-T-469 200mm硅外延片
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针方法
