Accuracy Typical (Guaranteed) ：±0.5 (±0.75) µm Bi-directional Repeatability Typical (Guaranteed) ：±0.030 (±0.040) µm Minimum Incremental Motion ：0.001 µm Resolution： 0.001 µm Travel Range ：160 mm Maximum Speed： 300 mm/s
高精度地进行加工工件的定位与运动。
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