场发射扫描电子显微镜是对样品表面形貌进行测试的一种大型仪器。通过样品中的电子激发出的各种信号，扫描电镜可以做出电子图像分析，如可利用二次电子进行样品表面形貌及结构分析的分析；以两片探测器信号做积分运算，通过背散射电子可以分析样品表面成分图像，以两片探测器信号做微分运算时，则可用于样品表面形貌图像的分析；此外，通过透射电子则可对析晶体的内部结构及晶格信息进行分析。
扫描电镜
百检网 2021-11-11
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