穆勒矩阵椭偏仪

百检网 2021-11-11

购置的穆勒矩阵椭偏仪可通过反射率、透射率、椭偏光谱、穆勒矩阵光谱等光谱信息采集，基于其光谱分析软件可实现各种各向同性/各向异性微纳薄膜、纳米光栅结构等测量对象的几何厚度、几何关键尺寸等形貌信息以及材料光学特性信息提取。

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