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高真空: 30kV <2nm 低真空: 3kV <3nm ESEM: 30kV <2nm 能谱仪: <132eV
综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势,能在高真空模式、低真空模式和环境扫描模式下对各种(包括导电样品、不导电样品、含水样品、生物样品等等)进行静态、动态观察和分析。可以在一定压力的水蒸气条件下对各种物质通过二次电子、背散射电子进行表面微观形貌分析以及对材料成份进行微区成分析,避免样品在真空条件下发生失水而发生表面形貌的变化,特别在这种条件下非导体物质可以不需要进行喷镀导电膜即可以进行表面形貌和微区成份分析,是一种高性能的多用途扫描电子显微镜。