EBSD(电子背散射衍射)技术主要用于快速获取晶体材料的晶体学信息,可对材料进行织构和晶粒间取向差分析,晶粒尺寸及形状分布分析,晶界、亚晶及孪晶分析,应变和再结晶的分析,以及相鉴定和相含量计算等,解决材料在结晶、薄膜制备、半导体器件、形变、再结晶、相变、断裂、腐蚀等过程中的问题。
国标(北京)检验认证有限公司,在JSM-7001F型场发射扫描电镜上配备了EDAX公司的EBSD装置,与安装在普通钨灯丝的EBSD装置相比,具有光源强,采集速度快,菊池线质量高等优点。通过该公司*新的TSL OIM Data-Collection 5 软件,可对采集数据进行各种解析。实验室对铝合金、镁合金、钛合金等材料有丰富的制样及EBSD数据分析经验。