按照具体检测要求，通过光学显微镜、扫描电镜、透射电镜对样品的表面、断口及其它关注截面进行高倍观察。比如表面形貌、断口形貌、金相组织、微观层状结构等需要进行高倍观察的检测项目。对于电镜，借助辅助设备，还可以进行微观区域内的成分分析，通过线扫和mapping能够得出元素分布情况。电子探针和能谱的探测范围为Be——U。
微观分析试验目的
微观分析和宏观的目的都是单纯的评定组织（包括晶粒组织、形态、取向，沉淀和夹渣与各种裂纹和空穴关系，检测截面还要能记录截面平面的取样形态）。
微观分析试验步骤
一般步骤：
制样（切割、镶嵌、研磨、抛光、适当腐蚀）→腐蚀→观察
微观分析试验方法和标准
光学显微镜、扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）、电子探针（EPMA）、能谱（EDS）
