标准简介
本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。英文名称：Generic specification of ion beam etching system
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 15861-2012代替
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类：电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-01-02
实施日期：1996-08-01
作废日期：2013-02-15
页数：平装16开， 页数：10， 字数：15千字
前言
加工专用设备相关标准
