标准简介
本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。英文名称：Specification for a universal wafer grid
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 16595-2019代替
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1996-01-01
实施日期：1997-04-01
作废日期：2020-02-01
出版日期：1997-04-01
页数：平装16开， 页数：7， 字数：10千字
前言
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