标准简介
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。英文名称：Guidelines for photomask defect classification and size definition
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类：电子学>>31.020电子元件综合
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
出版日期：2004-08-10
页数：平装16开， 页数：7， 字数：10千字
前言
加工专用设备相关标准
