标准简介
本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。英文名称：Gases for electronic industry--Nitrogen
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 16944-2009代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-08-13
实施日期：1998-05-01
作废日期：2010-05-01
出版日期：2004-04-11
页数：平装16开， 页数：6， 字数：6千字
前言
工业气体与化学气体相关标准
