标准简介
本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。 本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。英文名称：Micro nano standard samples (geometric)
标准状态：现行
中标分类：机械>>工艺装备>>J42量具与量仪
ICS分类：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.30测量仪器仪表
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2020-11-19
实施日期：2021-06-01
出版日期：2020-11-01
页数：24页
前言
量具与量仪相关标准
.png)
