标准简介
本标准规定了硅单晶退火片（以下简称退火片）的分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。本标准适用于通过退火工艺在硅单晶抛光片表面形成一定宽度洁净区的硅片，产品用于技术代180nm～22nm的集成电路。英文名称：Annealed monocrystalline silicon wafers
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 26069-2010
中标分类：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2022-03-09
实施日期：2022-10-01
出版日期：2022-03-01
页数：12页
前言
元素半导体材料相关标准
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