GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

百检网 2022-10-25

标准简介

本标准规定了含工艺腔室类集成电路的IC装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路的IC装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。
英文名称：Information model for containing process chamber IC equipment design
标准状态：现行
中标分类：机械>>机械综合>>J07电子计算机应用
ICS分类：信息技术、办公机械设备>>信息技术应用>>35.240.50信息技术在工业上的应用
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2019-08-30
实施日期：2020-03-01
出版日期：2019-08-01
页数：20页

前言

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