标准简介
本标准规定了复合分子泵的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于具有前级泵、变频电源的复合分子泵。英文名称:Vacuum technology-Hybrid molecular pumps
标准状态:现行
中标分类:机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类:流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门:国家发展和改革委员会
发布日期:2007-08-28
实施日期:2008-02-01
出版日期:2008-02-01
页数:15页
前言
真空技术与设备相关标准