标准简介
本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二*型(L型)和三*型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵)。标准状态:作废
替代情况:JB 4082-1985;被JB/T 4081-2011代替
中标分类:机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
发布部门:国家机械工业局
发布日期:1991-07-22
实施日期:1992-07-01
作废日期:2012-04-01
出版日期:1992-07-01
页数:2 页
前言
真空技术与设备相关标准