标准简介
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。英文名称:Nickel-platinum target
标准状态:现行
中标分类:冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金
ICS分类:冶金>>有色金属产品>>77.150.99其他有色金属产品
发布部门:工业和信息化部
发布日期:2013-10-17
实施日期:2014-03-01
出版日期:2014-03-01
页数:24页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院。本标准参加起草单位:宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准主要起草人:朱晓光、顾新福、杨永刚、向磊、何金江、郭力山、吕保国、姚力军、王学泽、李勇军、尚再艳、孙秀霖、陈彩霞、张丽、李娜、刘红宾、夏乾坤、蒋宇辉。