T/CGMA 0603-2021 磁悬浮分子泵稳定性及环保性能分级规范

百检网 2022-11-01

标准简介

本文件规定了磁悬浮分子泵稳定性及环保性能的评级指标定义、评级指标测试方法和性能分级判定依据等。本文件中，使用振动值和集成度评价磁悬浮分子泵稳定性能，使用噪声值和空载电机功耗评价磁悬浮分子泵环保性能。本文件适用于工业用磁悬浮分子泵，特殊定制磁悬浮分子泵除外。
英文名称：Stability and environmental performance grades of magnetic levitation molecular pump
标准状态：现行
中标分类：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类：流体系统和通用件>>23.160真空技术
页数：8页

前言

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