标准简介
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。英文名称：Transparent quartz glass devices for semiconductor
标准状态：现行
替代情况：替代JC/T 181-1981 (1996);公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号)
中标分类：建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃
ICS分类：玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>81.040.30玻璃产品
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-07-01
出版日期：2012-07-01
页数：2页
前言
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