GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 即将实施

标准号：GB/T 39145-2020
中文标准名称：硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
标准状态：即将实施,发布于2020-10-11; 实施于2021-09-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2020-10-11
实施日期：2021-09-01
中国标准分类号：77.040
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司;浙江金瑞泓科技股份有限公司;有色金属技术经济研究院;龙腾半导体有限公司;有研半导体材料有限公司;上海合晶硅材料有限公司;无锡华瑛微电子技术有限公司;厦门科鑫电子有限公司
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