GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范 现行

标准号：GB/T 16596-2019
中文标准名称：确定晶片坐标系规范
英文标准名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
标准状态：现行,发布于2019-03-25; 实施于2020-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2019-03-25
实施日期：2020-02-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有色金属技术经济研究院;浙江海纳半导体有限公司;上海合晶硅材料有限公司;有研半导体材料有限公司;浙江省硅材料质量检验中心
全部替代标准：GB/T 16596-1996
相近标准：GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范; 20162491-T-469 确定晶片坐标系规范; 确定晶片坐标系规范; GB/T 28584-2012 城市坐标系统建设规范; 20051760-T-466 城市坐标系统建设规范; GB/T 30112-2013 月球空间坐标系; 20201549-T-801 空间站坐标系; 空间站坐标系; 20100982-T-491 月球空间坐标系; GB/T 32296-2015 航天飞行器常用坐标系