GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范 现行

标准号：GB/T 37053-2018
中文标准名称：氮化镓外延片及衬底片通用规范
英文标准名称：General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
标准状态：现行,发布于2018-12-28; 实施于2019-07-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-07-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司;苏州纳维科技有限公司;中国电子技术标准化研究院;合肥彩虹蓝光科技有限公司;南京大学电子科学与工程学院
相近标准：20110049-T-469 氮化镓外延片及衬底片通用规范; 20193166-T-469 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法; 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法; GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法; 20151534-T-469 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法; 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法; GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法; 20120268-T-469 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法; GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片; 20110046-T-469 LED发光用氮化镓基外延片